下载一种光栅式力传感器的技术资料

文档序号:17503656

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本实用新型公开了一种光栅式力传感器,该系统包括:光源单元、透镜单元、光栅副单元、光电元件单元。其中,光源单元,由发光二极管构成,用于为所述微型传感器模块提供稳定光信号;透镜单元,用于将光源发出的光线变为平行的直线;光栅副单元,由主光栅与指示...
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