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本实用新型公开了一种防污染干燥装置，该干燥装置包括：托盘、设置在托盘上方的侧面保护罩以及设置在侧面保护罩上方的顶部保护罩；所述侧面保护罩通过底部固定装置与托盘连接，所述顶部保护罩通过顶部固定装置与侧面保护罩连接；所述侧面保护罩和顶部保护罩均...
该专利属于河北高富氮化硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北高富氮化硅材料有限公司授权不得商用。

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