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一种密封加强的光伏硅片石英扩散炉制造技术
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文档序号:17494311
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一种密封加强的光伏硅片石英扩散炉,石英舟用于承载光伏硅片,石英炉门安装在石英扩散炉的头部,对于石英扩散炉起到密封作用,保温桶位于石英扩散炉内靠近石英炉门一侧,起到隔热作用,喷淋管位于石英扩散炉内上部,用于通入喷淋保护气体三氯氧磷,挡板用挂钩...
该专利属于上海强华实业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海强华实业有限公司授权不得商用。
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