下载一种密封加强的光伏硅片石英扩散炉的技术资料

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一种密封加强的光伏硅片石英扩散炉,石英舟用于承载光伏硅片,石英炉门安装在石英扩散炉的头部,对于石英扩散炉起到密封作用,保温桶位于石英扩散炉内靠近石英炉门一侧,起到隔热作用,喷淋管位于石英扩散炉内上部,用于通入喷淋保护气体三氯氧磷,挡板用挂钩...
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