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用于基底晶片衬底上的外延的使用超晶格结构的应力控制，包括用于硅{111}衬底上氮化镓的外延的AlN/GaN超晶格。可以在含有AlN/GaN超晶格层的超晶格结构上生长无裂纹GaN覆盖层。通过改变超晶格层的厚度和超晶格层的数量，可以精确地调整压...
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