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一种等离子体处理装置包括环形形状的等离子体容器，环形形状的等离子体容器包括处理室。磁芯围绕环形形状的等离子体容器的一部分。具有电连接到的磁芯的输出的RF电源向磁芯通电，由此在等离子体室中形成环形等离子体回路放电。工件夹具放置于环形形状的等离...
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