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本发明公开了一种用于LED衬底晶片的清洗装置，包括主箱体，所述主箱体内分隔有无水乙醇池、酸溶液池和去离子水池，所述无水乙醇池的一侧固定有挡板，所述挡板的一侧设有固定在主箱体内侧壁上的卡环，所述卡环上设有螺纹孔，所述卡环通过螺纹孔螺纹连接有螺...
该专利属于惠州市烁达德高光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过惠州市烁达德高光电科技有限公司授权不得商用。

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