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本发明公开了一种LED外延结构的制备方法，该方法本发明采用特殊工艺清洗的硅衬底，该硅衬底具有容易去除、抗辐射、热导率高、耐高温、化学性质较稳定、强度较高等优点，具有很高的可靠性，基于硅衬底的氮化镓纳米柱LED可广泛应用于高温器件；本发明方法...
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