下载具有混合导电模式的横向功率器件及其制备方法的技术资料

文档序号:17487890

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本发明提供一种具有混合导电模式的横向功率器件及其制备方法,包括P型衬底、埋氧化层、N型漂移区、P型基区、N型缓冲区、N型源区、P型接触区、P型集电极区、发射极、集电极、栅介质层、栅电极,N型漂移区表面具有N型条和P型条,N型条和P型条在器件...
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