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具有混合导电模式的横向功率器件及其制备方法技术
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文档序号:17487890
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本发明提供一种具有混合导电模式的横向功率器件及其制备方法,包括P型衬底、埋氧化层、N型漂移区、P型基区、N型缓冲区、N型源区、P型接触区、P型集电极区、发射极、集电极、栅介质层、栅电极,N型漂移区表面具有N型条和P型条,N型条和P型条在器件...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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