下载一种真空充气设备及实现方法的技术资料

文档序号:17483739

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种真空充气设备及实现方法。该设备密封罩、温控工装、工作台、温控器、洁净仪、充气装置和分子泵;工作台上安装有抽气口、抽放气口和密封插座;温控工装安装于由密封罩和工作台形成的密闭空间内;抽放气口向外引出抽放气总管路,所述抽放气总管...
该专利属于北京航天控制仪器研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京航天控制仪器研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。