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一种真空充气设备及实现方法技术
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文档序号:17483739
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本发明公开了一种真空充气设备及实现方法。该设备密封罩、温控工装、工作台、温控器、洁净仪、充气装置和分子泵;工作台上安装有抽气口、抽放气口和密封插座;温控工装安装于由密封罩和工作台形成的密闭空间内;抽放气口向外引出抽放气总管路,所述抽放气总管...
该专利属于北京航天控制仪器研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京航天控制仪器研究所授权不得商用。
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