下载基于蓝宝石基体生长石墨烯的表面处理方法的技术资料

文档序号:17480822

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本发明公开了一种基于蓝宝石基体生长石墨烯的表面处理方法,采用高温气体刻蚀的方式,对基体表面进行刻蚀,然后再调节压力、流量和温度参数,使石墨烯于蓝宝石表面直接生长。本发明以蓝宝石作为基体,采用化学气相沉积方法在蓝宝石基体上直接生长石墨烯,避免...
该专利属于南昌航空大学所有,仅供学习研究参考,未经过南昌航空大学授权不得商用。

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