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一种阶梯高K介质层元素纵向双扩散金属氧化物半导体场效应管制造技术
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文档序号:17470474
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本发明提出了一种阶梯高K介质层元素半导体纵向双扩散金属氧化物半导体场效应管(VDMOS),该器件主要是在器件漂移区两侧形成阶梯的高介电常数(High K)介质层,High k介质层阶梯下方为低介电常数的介质层。器件关断时High K介质层通...
该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。
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