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本发明公开一种堆叠式六轴精密调整平台装置，该堆叠式六轴精密调整平台装置包括Z轴微调机构、安装于Z轴微调机构上的XY轴调节平台、安装于XY轴调节平台的第一连接座、安装于第一连接座上的第一Y轴角度调节机构、安装于第一Y轴角度调节机构上并可由第一...
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