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本发明公开了一种成像装置、成像方法和成像系统，属于样品图像数据的获取及成像技术领域；一种成像装置，包括荷电粒子源，会聚系统，扫描控制系统，探测模块，置于探测模块下方的光谱分析模块；所述探测模块包括若干个像素化探测器单元，在该探测模块上开设有...
该专利属于南京大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京大学授权不得商用。

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