下载一种薄膜在线激光测厚系统及方法的技术资料

文档序号:17463762

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本发明属于非接触式在线测厚领域,并具体公开了一种薄膜在线激光测厚系统及方法,包括大理石框架和设于大理石框架内部的C形架,大理石框架内顶部及底部设置有钢片和导轨;C形架具有上梁和下梁,上、下梁之间放置待测薄膜,上梁上下端部设置第一、第二激光位...
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