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一种基于光纤的两用型远心结构数字全息显微测量装置制造方法及图纸
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下载一种基于光纤的两用型远心结构数字全息显微测量装置的技术资料
文档序号:17463733
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本发明涉及一种两用型数字全息显微测量装置。本装置由激光发生与光纤分束系统、物光光路传输系统、参考光光路传输系统、测量模式切换系统和激光合束与记录系统构成。本发明集透射式测量和反射式测量于一身,可以实现透明样本和不透明样本的实时三维形貌测量。...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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