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本发明公开一种密封真空泵隔离阀。真空泵隔离VPI阀置于真空泵和真空室之间。在真空泵正常操作期间，VPI阀打开，从而允许真空泵和真空室之间的流体连通。当真空泵例如由于断电变得不可操作时，VPI阀关闭，从而将真空室与真空泵隔离。VPI阀的关闭由...
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