下载流体控制装置的技术资料

文档序号:17462110

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一种流体控制装置,包含:压电致动器以及可变形基座,压电致动器由压电组件贴附于振动板的表面所构成,压电组件受施加电压而形变以驱动振动板弯曲振动,振动板具有突出部,其贴附压电组件的另一表面;以及可变形基座结构,由挠性板及流通板相互堆栈接合构成,...
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