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本发明公开的卡盘传动结构,包括旋转盘、外壳和设置在外壳上的介质分配环,旋转盘可转动的设置在介质分配环内,旋转盘上设有第三介质通道,外壳设有第四介质通道,介质分配环与外壳之间环设有第一介质通道,旋转盘与介质分配环之间环设有第二介质通道,第一介...该专利属于佛山市宏石激光技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过佛山市宏石激光技术有限公司授权不得商用。
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本发明公开的卡盘传动结构,包括旋转盘、外壳和设置在外壳上的介质分配环,旋转盘可转动的设置在介质分配环内,旋转盘上设有第三介质通道,外壳设有第四介质通道,介质分配环与外壳之间环设有第一介质通道,旋转盘与介质分配环之间环设有第二介质通道,第一介...