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本发明涉及一种带电粒子束偏转装置，包括位于带电粒子束偏转轨道进口端的第一偏转磁体、位于第一偏转磁体下游侧的第二偏转磁体及位于带电粒子束偏转轨道出口端的第三偏转磁体；第一偏转磁体与第三偏转磁体均适于在至少部分带电粒子束偏转轨道内形成有均匀磁场...
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