下载一种反射件及其膜系结构的制备方法和红外线LED装置的技术资料

文档序号:17441335

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本发明公开了一种反射件及其膜系结构的制备方法和红外线LED装置,所述反射件包括本体,本体具有空腔;还包括蒸镀在所述本体的空腔壁面以反射光线的膜系结构,该膜系结构从里到外包括多层膜,且各奇数层的膜均为氧化钽膜,各偶数层的膜均为氧化硅膜或氧化铝...
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