下载气泡瑕疵检测系统及方法的技术资料

文档序号:17440904

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本发明关于一种气泡瑕疵检测系统及方法,用以同时检测一红外线截止滤光片内部是否残存有气泡以及表面是否有瑕疵,其中,该系统包括一照明装置、一光学组件、一图像撷取装置及一图像处理单元,该照明装置能同时输出紫外线及红外线,该光学组件包括一物镜,对准...
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