温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种具有应力隔离能力的双质量块音叉陀螺，属于圆片级真空封装，由上、中、下三层硅构成，上层为真空封装盖板，下层为硅衬底，中层单晶硅片上制作有陀螺机械结构，由两个相同的子结构组成，这两个子结构左右对称布置，并通过多个U形梁与应力隔离框...
该专利属于南京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京理工大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。