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一种高效生产纳米气相二氧化硅生产工艺及设备：具体步骤为，将氯硅烷在对应预热器汽化后进入混合器与氢气，空气混合升温至100℃以上，以30‑100m/s流速通过反应器进入到闭式炉内进行燃烧水解反应，控制反应温度在1000‑1800℃，得到的气相...
该专利属于宜昌汇富硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宜昌汇富硅材料有限公司授权不得商用。

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