下载两级台面铟镓砷/铟磷雪崩光电二极管及其制备方法的技术资料

文档序号:17410708

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本发明属于光电检测以及图像传感器领域,为实现在保证器件中心区域高电场的同时,抑制边缘电场,降低器件暗电流,为产业应用提供参考依据。本发明,两级台面铟镓砷/铟磷雪崩光电二极管及其制备方法,结构包括N...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。

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