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一种基于鼓泡法的石墨烯场效应晶体管的制备方法技术
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文档序号:17410327
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本发明公开一种石墨烯场效应晶体管,特指一种基于鼓泡法的石墨烯场效应晶体管的制备方法,包括:提供衬底,在所选衬底上形成氧化层;在氧化层上进行光刻打孔;在孔上方转移形成双层石墨烯沟道;将转移后的石墨烯放在抽真空机中,进行抽真空操作,然后进行充气...
该专利属于江苏大学;镇江市电子管厂所有,仅供学习研究参考,未经过江苏大学;镇江市电子管厂授权不得商用。
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