下载一种真空室的真空度监测方法的技术资料

文档序号:17410204

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本发明涉及一种真空室的真空度监测方法,所述真空室中预设有至少一个金属丝,该监测方法具体包括:将所述真空室中的至少一个金属丝分别接入到所述真空室外部的外接电路中;控制所述外接电路,使得所述外接电路以预设的时间间隔分别对每个所述金属丝提供额定的...
该专利属于中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司抚顺石油化工研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司抚顺石油化工研究院授权不得商用。

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