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本发明公开了一种基于分离纳米臂结构的超小动质量光机晶体腔，包括：输入波导区、分离纳米臂光机晶体微腔区、输出波导区；所述分离纳米臂光机晶体微腔区包括一个硅衬底、硅衬底两端的二氧化硅隔离层、硅衬底上方与二氧化硅隔离层相连的硅平板、位于二氧化硅隔...
该专利属于中国工程物理研究院流体物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院流体物理研究所授权不得商用。

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