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一种薄膜透光均匀性检测装置及检测方法制造方法及图纸
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文档序号:17403734
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本发明提供了一种薄膜透光均匀性检测装置,包括激光光源、工作台、光电探测器、信号调理单元、模数转换单元、数字锁相放大器、数模转换单元、控制单元;工作台设有样品台和圆孔,样品台可移动的覆盖在圆孔上,圆孔半径大于激光光源在该位置的光斑半径;激光光...
该专利属于三明学院所有,仅供学习研究参考,未经过三明学院授权不得商用。
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