下载组合式微机电装置以及其制作方法的技术资料

文档序号:17402420

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本发明提供一种组合式微机电装置,其中包含:一基板、一元件层、一封盖、以及至少两感测单元。元件层设于基板上。封盖设于元件层上。至少两感测单元为彼此相邻,且皆形成于基板、元件层、以及封盖中,其中一第一感测单元具有一第一封闭空间,一第二感测单元具...
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