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一种激光轨道平顺度检测装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:17402114
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本发明提供了一种激光轨道平顺度检测装置及方法,本发明利用光电测量靶检测得到待测位置Pi的水平基础测量值Xi以及垂直基础测量值Yi;利用光电定位靶上的偏差检测单元检测激光基准光束的水平随机偏差值△Xi以及垂直随机偏差值△Yi,对水平随机偏差值...
该专利属于王启华所有,仅供学习研究参考,未经过王启华授权不得商用。
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