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本实用新型公开一种基于PECVD的增强型石墨烯薄膜镀膜设备，其多个真空室包括依次连接的放卷室、多个镀膜室和收卷室；每个镀膜室中，泡沫镍基材的上下两侧分别设有射频放电板和等离子体磁控增强装置；其方法是在各镀膜室中，开启射频放电板进行放电，产生...
该专利属于肇庆市科润真空设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过肇庆市科润真空设备有限公司授权不得商用。

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