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本申请实施例提供一种MEMS芯片以及MEMS麦克风，其中MEMS芯片包括：设有进声孔的基板；设于所述基板上方且与所述基板绝缘的第一背极板和第二背极板；设于所述第一背极板与所述第二背极板之间的背极加强柱；以及固设于所述第一背极板与所述第二背极...
该专利属于歌尔股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过歌尔股份有限公司授权不得商用。

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