下载一种大可控行程微作动器的技术资料

文档序号:17395564

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本发明提供一种大可控行程微作动器,包括:动极板、极板底座、嵌入式镍极板弹簧和定极板,其中:所述嵌入式镍极板弹簧呈“一”字形,伸入所述动极板中央,沿所述动极板中轴线对称布置在所述动极板中央的两侧,所述嵌入式镍极板弹簧一端固定在所述极板底座长度...
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