下载用于水浸式和接触式探头评估的全自动多参数测量装置的技术资料

文档序号:17384885

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本发明涉及一种用于水浸式和接触式探头评估的全自动多参数测量装置,包括基本框架、X轴移动机构、Y轴移动机构、Z轴移动机构、接触式探头试块装置和水浸式探头试块装置,所述Z轴移动机构包括Z轴移动件,所述Z轴移动件的数量为两个,分别为接触式探头Z轴...
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