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本发明公开了一种基于Pd膜的致密均匀纳米微结构的柔性氢气传感器，属于柔性氢气传感器技术领域。本发明通过使PSCP单层致密均匀的排列在硅片上，然后将PSCP转移至PDMS(聚二甲基硅氧烷)上，接着固化PDMS并溶解掉PSCP产生具有纳米微结构...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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