下载硅棒多工位加工机的技术资料

文档序号:17381622

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本申请公开一种硅棒多工位加工机,包括:机座,具有硅棒加工平台;硅棒装卸装置,用于在硅棒加工平台的预处理区位进行硅棒的装卸作业;第一加工装置,用于对硅棒加工平台的第一加工区位上的硅棒进行第一加工作业;第二加工装置,用于对硅棒加工平台的第二加工...
该专利属于上海日进机床有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海日进机床有限公司授权不得商用。

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