温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种大尺寸Al2O3多晶体的制备方法,具体涉及一种内径为Φ150‑230mm,高度大于500mm,厚度15‑30mm的圆柱形冷坩埚中制备大尺寸Al2O3多晶体过程中形成高纯度、高体密度Al2O3多晶体的工艺流程。该工艺流程包括:熔...该专利属于鄂尔多斯市达瑞祥光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过鄂尔多斯市达瑞祥光电科技有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种大尺寸Al2O3多晶体的制备方法,具体涉及一种内径为Φ150‑230mm,高度大于500mm,厚度15‑30mm的圆柱形冷坩埚中制备大尺寸Al2O3多晶体过程中形成高纯度、高体密度Al2O3多晶体的工艺流程。该工艺流程包括:熔...