下载分支目标一致的多灵敏度任意反射表面速度干涉仪的技术资料

文档序号:17370628

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本实用新型属于光学测量技术领域,具体涉及一种分支目标一致的多灵敏度任意反射表面速度干涉仪,其结构包括照明光源、照明分束镜、成像镜头、中间像面和信号分束镜,照明光源发出的激光经照明分束镜反射后再经过成像镜头聚焦于靶面,由靶面反射的多普勒信号光...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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