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一种电热驱动双稳态MEMS开关，包括正方形基底，正方形基底上垂直分布有V型电热执行器I和V型电热执行器II，V型电热执行器I在一路驱动电路控制下驱动第一钩型触头，V型电热执行器II在另一路驱动电路控制下驱动第二钩型触头，第一钩型触头和第二钩...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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