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一种极低半波电压的波导电光强度调制装置制造方法及图纸
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文档序号:17363053
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一种极低半波电压的波导电光强度调制装置,包括基底、光波导、微电极、外加驱动电源(11);以电光透明陶瓷做基底,以飞秒激光微加工的方法在电光透明陶瓷基底上诱导出光波导和制作微电极,集成为马赫曾德尔电光调制器,微电极分别与外加驱动电源(11)相...
该专利属于西安空间无线电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过西安空间无线电技术研究所授权不得商用。
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