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本发明公开了一种五自由度精密调节台,包括:调节台主体,其包括第一转板、第一滑板、第二滑板、第二转板、第三转板和底板;θy方向舵机组件,其包括θy方向舵机和θy方向调节机构;X方向舵机组件,其包括X方向舵机和X方向调节机构;Z方向舵机组件,其...该专利属于中国科学院苏州生物医学工程技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院苏州生物医学工程技术研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种五自由度精密调节台,包括:调节台主体,其包括第一转板、第一滑板、第二滑板、第二转板、第三转板和底板;θy方向舵机组件,其包括θy方向舵机和θy方向调节机构;X方向舵机组件,其包括X方向舵机和X方向调节机构;Z方向舵机组件,其...