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一种基于点阵式压电薄膜传感器的气体检测装置制造方法及图纸
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下载一种基于点阵式压电薄膜传感器的气体检测装置的技术资料
文档序号:17362628
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本发明提供一种基于点阵式压电薄膜传感器的气体检测装置,包括点阵式压电薄膜传感器、信号发生器和信号采集分析处理模块,点阵式压电薄膜传感器具有至少一个气体通道,每个气体通道具有多个压电薄膜,多个压电薄膜整合排布在基底上以构成一个点阵式传感器组,...
该专利属于桂林电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过桂林电子科技大学授权不得商用。
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