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本发明涉及微波等离子体化学气相沉积方法生长单晶金刚石领域，特别涉及一种梯度单晶金刚石及其制备方法。采用微波等离子体化学气相沉积设备，在氢气甲烷混合气源中连续性梯度浓度通入高纯空气，实现不含氮的高质量单晶金刚石层和含氮金刚石层的交替沉积，制备...
该专利属于湖北碳六科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖北碳六科技有限公司授权不得商用。

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