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一种恒温可控镀膜机制造技术
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下载一种恒温可控镀膜机的技术资料
文档序号:17359764
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本发明提供了一种新型恒温可控镀膜机,包括真空炉室及其内部的工件台,所述真空炉室由炉顶、炉底、内筒体及外筒体组合而成,所述内筒体与外筒体间留有夹层空间;所述层状空间内设有若干交替设置的第一竖直凸条和第二竖直凸条以形成循环流通通道;所述外筒体上...
该专利属于北方工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北方工业大学授权不得商用。
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