下载一种基于光子晶体的垂直结构LED芯片及其制备方法的技术资料

文档序号:17348618

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本发明公开了一种基于光子晶体的垂直结构LED芯片及其制备方法,芯片包括由下至上依次排列的Si或者Cu衬底层、Al单晶金属薄膜层、p-GaN薄膜层、i-AlN薄膜层、n-ZnO层薄膜和单晶光子晶体薄膜层,采用p型GaN/n型ZnO异质结构,具...
该专利属于江门市奥伦德光电有限公司;五邑大学所有,仅供学习研究参考,未经过江门市奥伦德光电有限公司;五邑大学授权不得商用。

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