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本发明公开了一种半导体器件及利用突变异质结形成金刚石p型导电沟道的方法,涉及半导体器件的制作方法技术领域。所述方法包括:在衬底上形成高阻金刚石层;在所述高阻金刚石层的上表面形成具有受主特性的一层或多层异质单质或化合物,在所述金刚石与受主层的...该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。
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