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本发明是一种电感悬臂梁无线无源湿度传感器，其中，绝缘介质层(2)设置在所述衬底(1)上表面；所述电感结构(3)和所述锚区结构(4)并排设置在所述绝缘介质层(2)上表面；所述电感悬臂梁结构(5)的一端与所述锚区结构(4)形成固定连接，所述电感...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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