下载一种外延设备、设备制作方法及外延方法的技术资料

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本发明提供一种外延设备、设备制作方法及外延方法,所述外延设备包括石英腔室、设于所述石英腔室内的用于支撑晶圆的支撑平台及分别设于所述石英腔室一对相对侧面的反应气体进气口及废气排气口;其中:所述反应气体进气口所在石英腔室侧面上还设有两个氢气进气...
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