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本实用新型公开了一种镀膜工艺用可重复利用靶材装置，包括冷却管、靶材、磁座，所述冷却管外部设置有所述磁座，所述磁座边缘设置有第一条形磁铁，所述第一条形磁铁旁边设置有第二条形磁铁，所述第一条形磁铁与所述第二条形磁铁之间设置有固定座，所述固定座上...
该专利属于深圳新南亚技术开发有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳新南亚技术开发有限公司授权不得商用。

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