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一种声波辅助的粒状多晶硅流化床生产装置由声波发生器、流化床外壁、锥形圆环面、内套筒、圆环气体均布器、圆环隔断面、锥形圆环气体均布器、出料管、同心套管和加热器构成。本发明利用声波发生器生产的声波强化流化床内气、固相的传质，从而加快气相沉积速度...
该专利属于宁波工程学院所有，仅供学习研究参考，未经过宁波工程学院授权不得商用。

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